传统反射镜系统

传统的反射镜系统具有多达五个电动自由度(镜子高度,俯仰,偏航,水平平移和滚动)。系统的每一端都需要波纹管以适应所有容器和镜子平面内运动。通过相对于容器的运动实现滚动调节,以防止波纹管扭曲。

产品规格

真空性能 <5 x 10-10mbar
氦泄漏率 <1 x 10-9mbar l / sec
最高烘烤温度 150℃
镜子长度 300至1700mm
垂直驱动分辨率 为0.1μm
水平驱动分辨率 <5μm的
各个方向的线性运动范围 高达40mm
镜子定位系统的自由度数 最多5度
垂直执行器类型 带变速箱的手动或步进电机
水平执行器类型 带变速箱的手动或步进电机
限位开关 适合所有机械运动
手动支架调整的自由度数 6

选项

  • 镜面冷却
  • 镜弯机(U-bender)
  • 镜面弯管机(4缸弯管机)
  • 集成冷却面罩(掠入射)
  • 集成冷却面罩(垂直入射)
  • 控制系统
  • 真空泵

Hexapod平台

 

该多层单色仪使用匹配的多层对来从白光束源中选择相对宽的能带通束。对于一些实验,不需要高能量分辨率,并且多层可能的更高通量可以减少曝光时间并加速数据收集。根据所选择的多层设计,多层单色仪的能量范围可以从~50eV> 20keV。实现的能量分辨率(ΔE/ E)通常为百分之几,但取决于多层设计。可以提供多条纹多层以提供额外的能量范围。可选的横向平移系统可实现白光束旁路模式,或允许根据多层反射镜的方向选择多条纹。

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特征

  • 比堆叠运动阶段(串行运动学)更高的可重复性
  • 坚固,六支撑
  • 能够围绕任何定义的中心点旋转
  • 选定中心点周围的重复性非常好
  • 高分辨率0.1μm编码器
  • 可编程扫描动作
  • 六自由度

产品规格

承载量 200公斤
垂直范围 ±25mm
,0.1μm编码器分辨率
横向范围 ±25mm
,0.1μm编码器分辨率
角度范围 每个轴的±2°(±40mrad)
,分辨率为1μra​​d
线性可重复性 ±0.4μm的
线性精度 <1μm的
旋转精度 <1μrad
旋转重复性 ±1μrad

复合运动和悬挂部件(例如真空泵)可以限制运动范围。修改可用于特定要求。

 


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